应变传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有基板、层积在基板上的微晶玻璃、以及层积在微晶玻璃上的应变传感器，并且微晶玻璃是将具有互不相同的热机械常数的多种微晶玻璃粉焙烧而形成的。这样，可以减少传感器特性上的变动且可降低成本。

主权项

1.一种应变传感器，包括：基板；层积在所述基板上的微晶玻璃；以及层积在所述微晶玻璃上的应变感应电阻器；且其中，所述微晶玻璃是将具有互不相同的热机械常数的多种微晶玻璃粉焙烧而形成的复合微晶玻璃，并且不同的所述微晶玻璃粉的组成是：MgO为35～50wt％、B2O3为10～30wt％、SiO2为10～25wt％、BaO为3～25wt％、Al2O3为1～30wt％、SnO2为1～5wt％、P2O5为5wt％以下，进而，由MgO、BaO、及Al2O3组成的群的含量之差中的至少1个在1～20wt％范围内。