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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur photooptischen Herstellung von Halbleitererzeugnissen
摘要
申请公布号 DE1958663(A1) 申请公布日期 1970.06.11
申请号 DE19691958663 申请日期 1969.11.22
申请人 TELEDYNE INC. 发明人 EDWARD LEWIS,ROBERT;EDWIN CHANDLER,PHILIP;DUANE WRIGHT,MELVIN
分类号 G03F7/20;H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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