| 发明名称 | 像差校正阴极透镜显微镜仪器 | ||
| 摘要 | 提供一种像差校正显微镜仪器。所述仪器具有用于接收第一非色散的电子衍射图形的第一磁偏转器(206)。第一磁偏转器还被构造为在第一磁偏转器的出射面(A2)内投影第一能量色散的电子衍射图形。在第一磁偏转器的出射面内设置有静电透镜(224)。第二磁偏转器(222)基本上与第一磁偏转器相同，其被设置用于接收来自静电透镜的第一能量色散的电子衍射图形。第二磁偏转器还被构造为在第二磁偏转器的第一出射面(B2)内投影第二非色散的电子衍射图形。电子反射镜(226)被构造为用于校正第二非色散的电子衍射图形内的一个或多个像差。电子反射镜被设置用于将第二非色散的电子衍射图形反射到第二磁偏转器，用于在第二磁偏转器的第二出射面(B3)内投影第二能量色散的电子衍射图形。 | ||
| 申请公布号 | CN101390186A | 申请公布日期 | 2009.03.18 |
| 申请号 | CN200780006879.9 | 申请日期 | 2007.02.14 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | R·M·特罗普 |
| 分类号 | H01J37/05(2006.01)I;H01J37/153(2006.01)I;G01N23/20(2006.01)I;G01N23/227(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/05(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 于 静;李 峥 |
| 主权项 | 1. 一种像差校正显微镜仪器，其包括：第一磁偏转器，其被设置用于接收第一非色散的电子衍射图形，并被构造为用于在所述第一磁偏转器的出射面内投影第一能量色散的电子衍射图形；静电透镜，其被设置在所述第一磁偏转器的所述出射面内；第二磁偏转器，其基本上与所述第一磁偏转器相同，其中所述第二磁偏转器被设置用于接收来自所述静电透镜的所述第一能量色散的电子衍射图形，并且被构造为用于在所述第二磁偏转器的第一出射面内投影第二非色散的电子衍射图形；以及电子反射镜，其被构造为用于校正所述第二非色散的电子衍射图形内的一个或多个像差，并被设置为用于将所述第二非色散的电子衍射图形反射到所述第二磁偏转器，用于将第二能量色散的电子衍射图形投影到所述第二磁偏转器的第二出射面内。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||