载物台装置

摘要

本发明提供一种载物台装置。减弱支撑于在某个一水平方向可移动的第一工作台上的第二工作台的振动。该载物台装置具备：XY工作台，在X方向可移动；Z轴工作台，由支撑部支撑在XY工作台上的Z轴；一对标尺，在X方向互相分开配置，检查Z轴工作台的Z方向速度的一对；一对电动机，在X方向互相分开配置，在铅直方向驱动在X方向互相配置的Z轴工作台的一对电动机；以及控制器，和根据检测出的Z方向速度，控制电动机的驱动；通过利用由标尺检测Z方向速度，求出Z轴工作台的俯仰振动特性，驱动电动机，使Z轴工作台在俯仰方向转动，以使俯仰振动相互抵销。

主权项

1、一种载物台装置，具备：在某个水平方向可移动的第一工作台和由支撑部支撑在上述第一工作台上的第二工作台；其特征在于，该载物台装置包括：一对检测器，在上述某个水平方向互相分开配置，检测上述第二工作台的铅直方向的位置或速度；一对电动机，在上述某个水平方向互相分开配置，向上述铅直方向驱动上述第二工作台；以及控制器，根据上述一对检测器所检测的上述第二工作台的上述铅直方向的上述位置或上述速度，控制上述一对电动机的驱动。