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发明名称 FINFET SRAM CELL USING INVERTED FINFET THIN FILM TRANSISTORS
摘要
申请公布号 EP1586108(A4) 申请公布日期 2009.03.04
申请号 EP20020798556 申请日期 2002.12.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BREITWISCH, MATTHEW;NOWAK, EDWARD, J.
分类号 H01L27/11;H01L21/00;H01L21/44;H01L21/8238;H01L21/8244;H01L21/84;H01L27/092;H01L27/12 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
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