发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND PRÜFUNG EINES KORROSIONSBESTÄNDIGEN KANALS IN EINEM SILIZIUMBAUELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60319014(T2) |
申请公布日期 |
2009.01.29 |
申请号 |
DE20036019014T |
申请日期 |
2003.11.17 |
申请人 |
SMC K.K. |
发明人 |
HARRIS, JAMES M.;PATEL, SAPNA |
分类号 |
H01L21/00;B81B7/00;B81C99/00;F16K99/00;H01L21/02;H01L21/44;H01L21/66;H01L23/544 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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