| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft optische Anordnungen, mit denen ein Strahlungsfeld in eine Vielzahl von Strahlen gruppiert bzw. aufgeteilt wird. Bei einer Gruppe der optischen Anordnungen wird das Strahlungsfeld sequenziell durch hinter einander angeordnete Beamsplitter aufgeteilt. Bei der anderen Gruppe der optischen Anordnungen wird das Strahlungsfeld durch die Kanten bzw. Ecken von Arrays aus optischen Komponenten, wie Linsen und/oder Spiegeln, im Querschnitt gruppiert und aufgeteilt. Die so erzeugten Strahlen werden für parallele Anwendungen, wie Bohren, Schneiden, Abtragen, Entschichten und Strukturieren, verwendet.</p> |
