| 摘要 |
본 발명은 이동 가능한 디스플레이서 요소가 측정 챔버의 범위를 결정하는 변위 펌프들의 측정 프로필을 최적화하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 측정 챔버는 밸브들에 의해서 흡입 라인과 압력 라인에 연결되고, 운반 유체는 상기 흡입 라인에 의해서 상기 측정 챔버 내로 교호적으로 흡입될 수 있고, 상기 디스플레이서 요소의 진동운동에 의해서 상기 압력 라인에 의해서 상기 측정 챔버 밖으로 강제 배출될 수 있으며, 상기 디스플레이서 요소의 진동운동을 위한 드라이브가 제공된다. 시스템이 뜻하지 않은 장애에 노출되더라도 제어 매개변수들의 사전 상정없이 압력부분 운동의 제어를 가능하게 하는 본 발명에 따른 방법을 제공하기 위해서, 본 발명에 따른 모델-기반 제어가 드라이브를 위해서 사용된다. |
