| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1437763(A4) |
申请公布日期 |
2009.01.28 |
| 申请号 |
EP20020779906 |
申请日期 |
2002.10.08 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SAKI, KAZUO;USHIKU, YUKIHIRO |
| 分类号 |
C23C16/52;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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