摘要 |
<p>Die Erfindung beschreibt einen Corioliskreisel mit einer Anordnung, die ein Substrat (5, 22, 24, 26), mindestens zwei Einzelstrukturen (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) und Federelemente (z.B. 1, 2, 3, 21, 23, 25) umfasst, wobei die Federelemente (z.B. 1, 2, 3, 21, 23, 25) die Einzelstrukturen (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) mit dem Substrat (5, 22, 24, 26) und untereinander koppeln, mit Kraftgebern (z.B. 514, 614, 714, 814) und mit Abgriffen (z.B. 534, 634, 734, 834), wobei die Anordnung mindestens einen Anregungsmode (7) besitzt, der von den Kraftgebern (z.B. 514, 614, 714, 814) angeregt werden kann und mindestens einen Detektionsmode (8), der von den Abgriffen (z.B. 534, 634, 734, 834), gemessen werden kann, wobei die Anregungsmode (7) und die Detektionsmode (8) abgeschlossen sind, wodurch keine Störanregungen des Anregungsmodes und des Detektionsmodes durch lineare Beschleunigungen bzw. Vibrationen hervorgerufen werden können, falls keine Fertigungstoleranzen zu berücksichtigen sind.</p> |