适用于分段像观察装置的图案形成部件

摘要

一种适用于分段像观察装置的图案形成部件，选择地向试样照射来自光源的光，扫描所述试样，取得来自所述试样的光，将其作为分段像，所述图案形成部件包括照射部和遮光部，在将所述照射部和所述遮光部的各自图案形成为直线状的同时，交互配置这些直线状图案。

主权项

1.一种适用于分段像观察装置的图案形成部件，该分段像观察装置利用来自光源的光对试样进行扫描，所述图案形成部件包括：具有多个区域的旋转盘，所述多个区域中的每一个都包括交替设置的透光部和遮光部以形成直线形图案；围绕可刻在所述旋转盘上的所有同心圆的相同圆周，所有的透光部具有彼此相同的宽度并且所有的遮光部具有彼此相同的宽度；并且所述多个区域包括在所述透光部的宽度、遮光部的宽度和取向中的至少一项上彼此不同的直线形图案。