| 发明名称 | 光阻回收系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种光阻回收系统。现有的光阻供应系统存在光阻浪费、没有充分利用的问题。本发明的光阻回收系统，包括一个存储容器，用于存储光阻；一个中间箱，用于从存储光阻容器接收光阻，并具有一个从中间箱排放光阻的排放管；一个过滤器，用于从中间箱接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；其中该光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器、中间箱的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。采用本发明的光阻回收系统，可以回收利用光阻，提高光阻的利用率。 | ||
| 申请公布号 | CN101329512A | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200710042408.5 | 申请日期 | 2007.06.22 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 卢健;张建峰 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01);G03F7/26(2006.01) | 主分类号 | G03F7/16(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1、一种光阻回收系统，包括：一个存储容器，用于存储光阻；一个过滤器，用于从存储容器接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；其特征在于：光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||