车载乙醇检测的SnO<SUB>2</SUB>薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了车载乙醇检测的SnO₂薄膜及其制备方法，车载乙醇检测的SnO₂薄膜主要包括硅衬底、电极层、薄膜敏感材料层三层。其中敏感材料层主要由SnO₂半导体氧化物材料薄膜构成，电极层为梳状电极，采用电沉积并辅以DNA调控制备纳米膜工艺在梳状电极上生成锡的纳米量级氧化物薄膜，然后进行金掺杂及退火，制备出纳米晶粒氧化锡薄膜。本发明制备的氧化锡薄膜具有颗粒度小、比表面积大、表面均匀、对汽车里易挥发性气体乙醇的检测有较高的灵敏度且响应恢复快等特点。该制备方法具有可在各种结构复杂的基体上均匀有序沉积，可精确控制沉积层的厚度、化学组成和结构等特点，制作设备投资少，工艺简单，操作容易。

主权项

1、一种车载乙醇检测的SnO2薄膜，其特征在于：所述车载乙醇检测的SnO2薄膜由硅衬底(1)、电极层(2)、薄膜敏感材料层(3)组成，所述电极层(2)为梳状电极，所述薄膜敏感材料层(3)由SnO2半导体氧化物材料薄膜组成，所述SnO2薄膜检测的对象是汽车里易挥发性气体乙醇。