| 发明名称 | BPSG中硼、磷含量测量的校正方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种硼磷硅玻璃(BPSG)中硼(B)、磷(P)含量测量的校正方法，以对诸如X射线荧光仪(XRF)等BPSG的B、P含量测定仪器进行校正。主要利用湿化学方法测定BPSG中的B、P含量，并与XRF测定的结果进行对比，求出差异数值，通过差异数值调节XRF的准确性，具体步骤包括：用XRF测量BPSG薄膜的硼、磷浓度；将所述BPSG薄膜溶解于蚀刻液，用元素定量分析设备测定其硼、磷浓度；以及利用XRF和元素定量分析设备分别测定的硼、磷浓度形成一用于校正所述XRF的浓度校正曲线。然后利用该浓度校正曲线来校正XRF，或者根据该浓度校正曲线制作XRF标准片来校正XRF。 | ||
| 申请公布号 | CN101329288A | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200710042391.3 | 申请日期 | 2007.06.22 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 肖建军;宋国宁;张士仁;杨洪春 |
| 分类号 | G01N23/223(2006.01) | 主分类号 | G01N23/223(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈亮 |
| 主权项 | 1.一种BPSG中硼、磷含量测量的校正方法，其特征在于，包括：用XRF测量BPSG薄膜的硼、磷浓度；将所述BPSG薄膜溶解于蚀刻液，用元素定量分析设备测定其硼、磷浓度；利用XRF和元素定量分析设备分别测定的硼、磷浓度，形成一用于校正所述XRF的浓度校正曲线。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||