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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BEIDSEITIGEN BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN MIT EINER HYDROPHOBEN SCHICHT
摘要
申请公布号 DE502005005953(D1) 申请公布日期 2008.12.24
申请号 DE200550005953T 申请日期 2005.04.01
申请人 CARL ZEISS VISION GMBH;LEYBOLD OPTICS GMBH 发明人 ZUELTZKE, WALTER;FUHR, MARKUS;WINTER, KARL-HEINZ;WICHT, MANFRED
分类号 C23C14/50;B05C9/02;C23C14/24;C23C14/32 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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