操作检测系统中的分轴台和检定平面柔性介质的方法

摘要

模块化的分轴台被用于检测和/或修复适用于LCD/TFT应用领域的大型扁平玻璃介质。将低精度的气动工作台部分可拆卸地安装到中心定位的、高精度的花岗岩检测/修复部分。由真空接触器把持的玻璃介质在气垫上从上连接板气动工作台传送到中心检测/修复部分。真空吸嘴一体形成在多孔介质衬垫上，用于在检测或修复过程中精确控制柔性介质在中心部分之上的高度。实施例包括在检测/修复过程中使介质静止不动或移动的结构。在流水线操作模式中，第一介质可在第二介质受到检测或修复的同时被装载/卸载。

主权项

1.一种用于对检测系统中的分轴台进行操作的方法，其中所述检测系统具有包含TFT-LCD阵列器件的扁平柔性平面介质，所述方法包括：在所述分轴台的第一部分上接纳所述介质，所述第一部分被赋予具有第一操纵精度的特性，其中在所述第一部分通过气浮轴承支承所述介质；利用所述第一部分在第一方向上传送所述介质，以将所述介质送至观测区；在所述分轴台的第二部分上接纳来自所述第一部分的所述介质，所述第二部分包含所述观测区并且被赋予具有第二操纵精度的特性，所述第二操纵精度高于所述第一操纵精度；以及在所述观测区内利用所述第二部分沿与所述第一方向垂直的方向对所述介质进行定位，其中，所述第二部分还包括用于对与所述第二部分有关的可控制气体排放场进行导引的组件，所述利用第二部分沿与所述第一方向垂直的方向对所述介质进行定位的步骤进一步包括：在所述第二部分的选定位置上产生真空和在与所述第二部分有关的所述可控制气体排放场中产生压缩气浮轴承，从而实现对所述介质的可控制的悬浮和垂直方向的定位。