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发明名称 Ladungsträgerteilchenstrahlsystem mit dynamischer Fokusierung
摘要
申请公布号 DE60039810(D1) 申请公布日期 2008.09.25
申请号 DE20006039810 申请日期 2000.03.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 PFEIFFER, HANS C.;SENESI, JOSEPH S.;STURANS, MARIS ANDRIS
分类号 G03F7/20;H01J37/141;H01J37/21;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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