| 发明名称 |
Method and apparatus for inspecting semiconductor device |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1491880(B1) |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
| 申请号 |
EP20040014742 |
申请日期 |
2004.06.23 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHIBA, SHIGEMITSU;TAKAGI, KEITARO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01N21/95;G01R31/308;G01R31/311;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
