薄膜磁传感器及其制造方法

摘要

一种薄膜磁传感器包括一对每一个都由软磁材料形成的薄膜磁轭，该薄膜磁轭被设置成互相面对，同时一个间隙介入其间；包括一个电连接到该对薄膜磁轭并有高于软磁材料的电阻率的GMR薄膜；以及包括一个支撑薄膜磁轭和GMR薄膜并由绝缘的非磁材料形成的绝缘衬底。一个包括一个由绝缘的非磁材料形成的层次和一个GMR薄膜的层次的多层次结构的间隙柱被设置在间隙中，在间隙的长度上GMR薄膜的厚度均匀。

主权项

1.一种薄膜磁传感器包括：一对薄膜磁轭，每一个磁轭由软磁材料形成，该薄膜磁轭被设置成互相面对，同时一个间隙介入其间；一个GMR薄膜，该GMR薄膜被电连接到该对薄膜磁轭并具有高于软磁材料的电阻率；和一个绝缘衬底，该绝缘衬底支撑薄膜磁轭和GMR薄膜并由绝缘的非磁材料形成；其中，在间隙中设置一个多层次结构的间隙柱，所述间隙柱包括一个由绝缘的非磁材料形成的层和一个GMR薄膜的层，且GMR薄膜的厚度在间隙的长度上均匀。