发明名称 |
具有高崩溃电压与高电阻值的半导体结构及其制造方法 |
摘要 |
一种具有高崩溃电压与高电阻值的半导体结构及其制造方法,其半导体结构至少包括:一基板,为一第一传导类型;一深阱,为一第二传导类型,是形成于基板内并由基板的表面向下扩展;一对第一阱,为第一传导类型,是形成于基板内并由基板的表面向下扩展,且形成在深阱之内;一第二阱,为第二传导类型,是形成于基板的深阱内并由基板表面向下扩展,且第二阱形成在第一阱之间,第二阱的注入量是低于第一阱的注入量;一对第一掺杂区,为第一传导类型,是分别形成在第一阱之内由基板表面向下扩展。 |
申请公布号 |
CN101221988A |
申请公布日期 |
2008.07.16 |
申请号 |
CN200810003312.2 |
申请日期 |
2008.01.16 |
申请人 |
崇贸科技股份有限公司 |
发明人 |
蒋秋志;黄志丰 |
分类号 |
H01L29/86(2006.01);H01L27/04(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/329(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/86(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
任永武 |
主权项 |
1.一种半导体结构,至少包括:一基板,为一第一传导类型;一深阱,为一第二传导类型,是形成于该基板内并由该基板的表面向下扩展;一对第一阱,为该第一传导类型,是形成于该基板内并由该基板的表面向下扩展,且形成在该深阱之内;一第二阱,为该第二传导类型,是形成于该基板的该深阱内并由该基板表面向下扩展,且该第二阱形成在该对第一阱之间,该第二阱的注入量是低于该第一阱的注入量;以及一对第一掺杂区,为该第一传导类型,是分别形成在该对第一阱之内由该基板表面向下扩展。 |
地址 |
台湾省台北县新店市宝兴路45巷8弄1号3楼 |