发明名称 具有高崩溃电压与高电阻值的半导体结构及其制造方法
摘要 一种具有高崩溃电压与高电阻值的半导体结构及其制造方法,其半导体结构至少包括:一基板,为一第一传导类型;一深阱,为一第二传导类型,是形成于基板内并由基板的表面向下扩展;一对第一阱,为第一传导类型,是形成于基板内并由基板的表面向下扩展,且形成在深阱之内;一第二阱,为第二传导类型,是形成于基板的深阱内并由基板表面向下扩展,且第二阱形成在第一阱之间,第二阱的注入量是低于第一阱的注入量;一对第一掺杂区,为第一传导类型,是分别形成在第一阱之内由基板表面向下扩展。
申请公布号 CN101221988A 申请公布日期 2008.07.16
申请号 CN200810003312.2 申请日期 2008.01.16
申请人 崇贸科技股份有限公司 发明人 蒋秋志;黄志丰
分类号 H01L29/86(2006.01);H01L27/04(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/329(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L29/86(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 任永武
主权项 1.一种半导体结构,至少包括:一基板,为一第一传导类型;一深阱,为一第二传导类型,是形成于该基板内并由该基板的表面向下扩展;一对第一阱,为该第一传导类型,是形成于该基板内并由该基板的表面向下扩展,且形成在该深阱之内;一第二阱,为该第二传导类型,是形成于该基板的该深阱内并由该基板表面向下扩展,且该第二阱形成在该对第一阱之间,该第二阱的注入量是低于该第一阱的注入量;以及一对第一掺杂区,为该第一传导类型,是分别形成在该对第一阱之内由该基板表面向下扩展。
地址 台湾省台北县新店市宝兴路45巷8弄1号3楼