发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE COUCHE CONTRAINTE
摘要
申请公布号 FR2929447(B1) 申请公布日期 2010.05.28
申请号 FR20080052034 申请日期 2008.03.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DEGUET CHRYSTEL;FOURNEL FRANK
分类号 H01L21/30;H01L21/46 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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