| 发明名称 | 薄膜压电共振器、其制造方法以及包括其的滤波器 | ||
| 摘要 | 一种薄膜压电共振器包括：具有空腔的衬底；第一介电层，设置在所述衬底上以覆盖所述空腔；第二介电层，设置在所述衬底上且设置在所述空腔的周围区域中，且其厚度大于所述第一介电层的厚度；第一电极，设置在所述第一介电层上和所述空腔上方；压电层，设置在所述第一电极上且设置为延伸至所述第二介电层上的区域；以及第二电极，设置在所述压电层上和所述第一电极上方。 | ||
| 申请公布号 | CN100547920C | 申请公布日期 | 2009.10.07 |
| 申请号 | CN200710079154.4 | 申请日期 | 2007.02.14 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 佐野贤也;板谷和彦;尾原亮一;川久保隆 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I;H03H9/58(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 杨晓光;李 峥 |
| 主权项 | 1.一种薄膜压电共振器，包括：具有空腔的衬底；第一介电层，设置在所述衬底上以覆盖所述空腔；第二介电层，设置在所述衬底上且设置在所述空腔的周围区域中，且其厚度大于所述第一介电层的厚度；第一电极，设置在所述第一介电层上和所述空腔上方；压电层，设置在所述第一电极上且设置为延伸至所述第二介电层上的区域；以及第二电极，设置在所述压电层上和所述第一电极上方，其中所述周围区域以距离激发部分预定的间隙包围所述激发部分，所述激发部分包括所述空腔、所述第一电极、所述压电层和所述第二电极的重叠区域。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||