一种光刻机硅片台双台交换系统

摘要

一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，每个硅片台各由一个六自由度微动台承载，硅片台和六自由度微动台构成一个硅片台组，两个硅片台组设置在同一长方形的基台上。在基台每边分别设有一组双自由度驱动单元，两个硅片台组通过气浮轴承悬浮在基台上表面；硅片台组的六自由度微动台结构分上下两层，可实现6自由度控制，基台长边的双自由度驱动单元与六自由度微动台外壳连接，驱动整个硅片台组在水平面上运动，基台短边的双自由度驱动单元与六自由度微动台上层定子线圈骨架连接，驱动六自由度微动台上层定子线圈在水平面上运动。本发明避免了因硅片台交换采用对接导轨所带来的要求极高的加工和装配精度，以及需增加对接辅助装置等缺陷，大大简化了系统结构。

主权项

1.一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位(6)的第一硅片台(10)和运行于预处理工位(7)的第二硅片台(12)，每个硅片台分别由一个六自由度微动台承载，硅片台和六自由度微动台构成一个硅片台组，六自由度微动台采用洛伦兹电机驱动，所述的两个硅片台设置在一长方形基台上表面(2)，设长边为X方向，短边为Y方向，在基台(1)两长边分别设有X方向第一双自由度驱动单元(21a)和X方向第二双自由度驱动单元(21b)，两短边分别设有Y方向第一双自由度驱动单元(22a)和Y方向第二双自由度驱动单元(22b)，双自由度驱动单元由上直线电机和下直线电机进行驱动，其特征在于：每个硅片台组的六自由度微动台有上下两层驱动器，上层为水平方向驱动器，下层为垂直方向驱动器，上层驱动器实现X方向、Y方向和绕Z轴旋转的运动，下层驱动器实现Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的运动；六自由度微动台基座(62)与X方向第一双自由度驱动单元(21a)的推杆(35)固定，六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)与Y方向第一双自由度驱动单元(22a)的推杆(35)固定；该系统双硅片台的交换过程：在交换时，首先，两硅片台组六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)分别与对应的上层驱动器动子磁钢(64)完全分离，两六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)不交换，两硅片台交换工位，然后，位于曝光工位的六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)插入运行至曝光工位的六自由度微动台上层驱动器动子磁钢(64)间隙内，位于预处理工位的六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)插入运行至预处理工位的六自由度微动台上层驱动器动子磁钢(64)间隙内，之后进入下一工作循环。