| 摘要 |
<p>Prestavitelný rádkovací elektronový mikroskop (100) zahrnující elektronový optický sloupec (120), komoru (140) pro vzorky, a detektor (550), pricemž uvedený elektronový optický sloupec zahrnuje sestavu (110) elektronové trysky, elektronový optický systém definující optickou osu a zahrnující systém cocek (220, 230, 240), který tvorí elektronový paprsek (600) z elektronu vyzarovaných uvedenou sestavou elektronové trysky, a vychylovac (390a, 390b), který rádkuje uvedený elektronový paprsek (600) pres vzorek, pricemž uvedený systém cocek zahrnuje cocku (240) objektivu zahrnující pólový nástavec na strane trysky a pólový nástavec (360) na strane vzorku, nosný prvek (700), který je usporádán ve vrtání v uvedeném pólovém nástavci (360) na strane vzorku. Cocka (240) objektivu dále zahrnuje první aperturový nosný prvek (500) a druhý aperturový nosný prvek (520), pricemž uvedené první a druhý aperturový nosný prvek (500, 520) jsou vyjímatelne usporádány v nebo na uvedeném nosném prvku (700), takže uvedený elektronový optický systém muže být provozován s žádným, s jedním nebo se dvema aperturovými nosnými prvky (500, 520) usporádanými v nebo na uvedeném nosném prvku (700), pricemž uvedený první aperturový nosný prvek (500) je pri použití usporádán v nebo na uvedeném nosném prvku (700) tak, že jeho apertura (750) je umístena na optické ose a mezi elektronovou tryskou a uvedeným pólovým nástavcem (360) na strane vzorku.</p> |
