涂覆的微结构及其制造方法

摘要

公开了用于化学处理和制造的微结构。所述微结构包括许多由玻璃、陶瓷、玻璃-陶瓷、或者这些材料的混合物构成的微通道壁，它限定了至少一个用于容纳要处理的化学物质的微通道。至少一层包括催化剂载体和催化剂的涂层是粘附在所述许多微通道壁上的。还公开了制造用于化学处理和制造的微结构的方法。

主权项

一种制造用于化学处理和制造的微结构的方法，该方法包括以下步骤：提供微通道，所述微通道由许多包含选自玻璃、陶瓷、玻璃-陶瓷、以及它们的混合物的材料的原料的微通道壁限定，并构造为容纳要处理的化学物质，其中，该步骤包括：在玻璃、玻璃-陶瓷、陶瓷、金属或半导体制得的第一基片上沉积玻璃料；模制所述玻璃料以限定微通道；以及用第二基片覆盖所述模制的玻璃料；用浆液充满所述微通道；从所述微通道中除去一部分浆液，使得浆液层涂覆所述许多微通道壁；在足够的温度下加热浆液层足够的时间，固化所述浆液层并将其粘结在所述许多微通道壁上。