| 发明名称 |
薄膜晶体管的制造装置和制造方法 |
| 摘要 |
本发明涉及一种薄膜晶体管的制造装置和制造方法。该制造方法包括以下步骤：提供一绝缘基底；在该绝缘基底上形成一栅极；依序形成一栅极绝缘层、一非晶硅层、一掺杂非晶硅层和一源/漏极金属层；采用双狭缝光罩曝光；形成源/漏极金属图案；形成掺杂非晶硅图案和非晶硅图案；形成源/漏极和沟槽；其中形成源/漏极和沟槽的步骤中包括曝光过程，该曝光过程采用双狭缝光罩，该双狭缝光罩的狭缝包括多个透光部分，且至少一透光部分为拐角区域，该拐角区域较狭缝的其它透光部分狭窄。采用该制造方法和制造装置可以得到性能较佳的薄膜晶体管。 |
| 申请公布号 |
CN1949080B |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
| 申请号 |
CN200510100395.3 |
申请日期 |
2005.10.13 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
赖建廷 |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种薄膜晶体管的制造装置，其包括一光罩，该光罩包括狭缝，该狭缝包括多个透光部分，且至少一透光部分为拐角区域，其特征是：该狭缝的拐角区域较其它透光部分狭窄。 |
| 地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
