在线监控透镜散光的方法

摘要

本发明公开了一种在线监控透镜散光的方法，包括以下步骤：利用光刻机自身曝光光波，通过一透镜系统将掩模板平面和汇聚到硅片平面的空间像分别记录在一焦平面空间像收集探测器阵列上；对上述两组记录在电子探测器阵列上的空间像的成像结果进行比较，解算出镜头在X方向，Y方向的物距补偿距离；根据测量结果通过一反馈系统，对透镜组环境参数进行调整，实现对整个透镜组散光的补偿。其中，所述透镜系统至少包括：主透镜组、傅立叶平面附近的45度角度分束板组、45度角度反光镜组、投影透镜、焦平面空间像收集探测器阵列和电子控制光快门组。该方法弥补了传统离线测量所带来的低产能利用率及号机差异问题；提高了光刻机精度控制的可靠性和使用效率。

主权项

一种在线监控透镜散光的方法，其特征在于，包括下列步骤：首先，利用光刻机自身曝光光波，通过一透镜系统将掩模板平面上的测试结构和汇聚到硅片平面上的测试结构的空间像分别记录在一焦平面空间像收集探测器阵列上；然后，对上述两组记录在焦平面空间像探测器阵列上的空间像至少在X方向和Y方向上的成像结果进行比较，解算出镜头在X方向和Y方向上的物距补偿距离；最后，根据对X方向和Y方向上物距的差异，通过一反馈系统对透镜系统环境参数进行调整，完成对整个透镜系统散光的补偿，所述透镜系统至少包括：主透镜组、傅立叶平面附近的45度角度分束板组、45度角度反光镜组、投影透镜、焦平面空间像收集探测器阵列、电子控制光快门组，所述傅立叶平面附近的45度角度分束板组至少包括上、下两块45度角度分束板，所述电子控制光快门组至少包括上下两个快门，通过开启或关闭上下快门，使得来自掩模板或硅片平面的光强分布分别记录到所述焦平面空间像收集探测器阵列上。