强激光诱导材料表面周期微纳米化的方法及其装置

摘要

本发明属于微纳米材料制备和激光微加工技术领域，加工时先将金属靶材研磨抛光，把86-1专用黑色涂料平铺于靶材表面，黑色涂料厚度控制在30-40μm，保持黑色涂料自然风干，随后在干化的黑色涂料表面滴加硅油，在硅油上压附光学玻璃，通过压板将涂有黑色涂料并滴加了硅油的金属靶材和光学玻璃固紧在专用靶材装夹器上。开启纳秒脉冲激光器，调好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经凸透镜聚焦到金属靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作从而实现金属靶材的单脉冲激光加载，最终使得金属靶材表面的晶粒微纳米化。本发明处理效率高，可达性好，适用范围广，处理得到的晶层光亮平整，少无疲劳源，且一次加载即可实现材料表面微纳米化。

主权项

强激光诱导材料表面周期微纳米化的方法，其特征是先将金属靶材研磨抛光，把86-1专用黑色涂料平铺于靶材表面，黑色涂料厚度控制在30-40μm，将其放置一段时间使靶材表面的黑色涂料自然风干，随后在干化的黑色涂料表面滴加硅油，在黑色涂料和硅油上压附光学玻璃，通过压板将涂有黑色涂料并滴加了硅油的金属靶材和光学玻璃固紧在专用靶材装夹器上；开启纳秒脉冲激光器，调好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经凸透镜聚焦到金属靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作从而实现金属靶材的单脉冲激光加载，最终使得金属靶材表面的晶粒微纳米化。