发明名称 |
拉制平肩锗红外单晶的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。其工艺要点在于:配备适当的保温系统,保证有足够的径向温度梯度,利于锗单晶放肩过程的正常生产;放肩时,将晶升停止;转肩前先升温,确保锗单晶肩边缘温度够高再调晶升速率至正常拉晶值。 |
申请公布号 |
CN101705517A |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
申请号 |
CN200910233349.9 |
申请日期 |
2009.10.20 |
申请人 |
南京中锗科技股份有限公司 |
发明人 |
薛玲玲 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京知识律师事务所 32207 |
代理人 |
张苏沛 |
主权项 |
一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。 |
地址 |
211165 江苏省南京市江宁区秣陵镇 |