发明名称 拉制平肩锗红外单晶的方法
摘要 本发明公开了一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。其工艺要点在于:配备适当的保温系统,保证有足够的径向温度梯度,利于锗单晶放肩过程的正常生产;放肩时,将晶升停止;转肩前先升温,确保锗单晶肩边缘温度够高再调晶升速率至正常拉晶值。
申请公布号 CN101705517A 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200910233349.9 申请日期 2009.10.20
申请人 南京中锗科技股份有限公司 发明人 薛玲玲
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 南京知识律师事务所 32207 代理人 张苏沛
主权项 一种拉制平肩锗红外单晶的方法,其特征在于:采用埚转、晶转,不提拉,热量随籽晶杆带走,待液面出现需要控制的锗单晶直径时,启动提拉按钮开始提拉,根据锗单晶直径不同,提拉速度控制在10~50mm/h。
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