| 发明名称 |
碳纳米管阵列的制备方法 |
| 摘要 |
一种碳纳米管阵列的制备方法，其包括以下步骤：提供一基底；在上述基底一表面形成一催化剂层；通入碳源气与载气的混合气体流经上述催化剂层表面；以及将激光束通过一振镜扫描系统聚焦照射在上述基底上从而生长碳纳米管阵列。 |
| 申请公布号 |
CN101209832B |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
| 申请号 |
CN200610064580.6 |
申请日期 |
2006.12.29 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
陈卓;罗春香;姜开利;范守善 |
| 分类号 |
C01B31/02(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
C01B31/02(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种碳纳米管阵列的制备方法，其包括以下步骤：提供一基底；在上述基底一表面上形成一催化剂层；通入碳源气与载气的混合气体流经上述催化剂层表面；以及将激光束通过一振镜扫描系统聚焦照射在上述基底上从而生长碳纳米管阵列。 |
| 地址 |
100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心310# |
