Verfahren zum Betreiben einer ölgedichteten Vakuumpumpe sowie ölgedichtete Vakuumpumpe

摘要

Bei einem Verfahren zum Betreiben einer ölgedichteten Vakuumpumpe erfolgt in einem ersten Schritt ein Messen des in einem Ansaugkanal (22) der Vakuumpumpe herrschenden Ansaug-Totaldrucks. Um eine Gefahr des Rückströmens von Öldampf in einen mit dem Ansaugkanal verbundenen Vakuumbereich zu verringern, erfolgt ein Regeln der Drehzahl der Vakuumpumpe in Abhängigkeit des gemessenen Ansaug-Totaldrucks innerhalb eines vorgegebenen Druckbereichs. Ferner betrifft die Erfindung eine ölgedichtete Vakuumpumpe, wobei der mit dem Schöpfraum verbundene Ansaugkanal (22) der Vakuumpumpe unmittelbar vor einer Einlassöffnung (36) gekrümmt ausgebildet ist.