发明名称 |
洗涤盒及其使用方法 |
摘要 |
本案提供一洗涤盒,其包含:一槽,适用以容纳一作清洗之基材;多数支撑件,在槽之外侧,适用以连接安排在槽内之洗涤刷的末端;一马达,安装在每一支撑件上并适用以旋转该等洗涤刷;一基部,该等支撑件系可枢转地经由球面轴承安装至该基部,以允许以内八字方式(toe-in)置放该洗涤刷;一刷间隙致动器,适用以经由一曲柄摇杆构件,以实质同时枢转该等支撑件彼此接近或离开,以允许洗涤刷实质同时完成与基材之接触或分离;及一内八字角度致动器,适用以移动两球面轴承彼此接近或离开,以调整在洗涤刷间之内八字角度(toe-in angle)。 |
申请公布号 |
TWI324789 |
申请公布日期 |
2010.05.11 |
申请号 |
TW093132793 |
申请日期 |
2004.10.28 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
尤都史凯约瑟夫;汤普曼艾薇;雷诺兹肯尼斯;尤尼斯亚基尔;马洛尔丹恩A;葛汉纳耶史帝夫G;波亚克亚历山大S;伊廷格盖瑞;张皓川;陈晖 |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
主权项 |
一种设备,包含:一槽,适用以容设用于清洗的一基材;一连杆组(linkage),适用以支撑多个洗涤刷,该连杆组包含:一基部;一第一刷支撑件,枢接至该基部;及一第二刷支撑件,枢接至该基部;及一致动器,适用以一致地(in concert)枢转该第一及第二刷支撑件,使得由该第一及第二刷支撑件所支撑之该些洗涤刷可大约同时地与一基材之个别主要表面接触或是分离开;及其中该连杆组系设置在该槽的外部。 |
地址 |
美国 |