| 发明名称 |
具高光透射窗之抛光垫及其形成方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种化学机械抛光垫，其包含一具有一形成于其中之窗的抛光垫，且其中该窗由脂族聚异氰酸酯、含羟基材料及固化剂之反应形成。 |
| 申请公布号 |
TWI324545 |
申请公布日期 |
2010.05.11 |
| 申请号 |
TW093134352 |
申请日期 |
2004.11.10 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料ＣＭＰ控股公司 |
发明人 |
罗伯斯 约翰 Ｖ Ｈ |
| 分类号 |
B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种化学机械抛光垫，包含：一具有一形成于其中用于终点侦测之窗的抛光垫；且其中该窗由脂族聚异氰酸酯、含羟基材料及固化剂之反应形成。 |
| 地址 |
美国 |
