电容性感测器

摘要

本发明揭露一种电容性感测器，此电容性感测器包括误差补偿单元，在固定电极之做为边缘部分的部分和可动电极之做为边缘部分的部分在侦测单元之偏移的方向上彼此相对并保持一定间隙的配置中，误差补偿单元藉由依据由偏移所引起之间隙的变化而造成之电容的改变，以减小侦测单元中由于梳齿部分彼此偏移所产生之电容的侦测误差。

主权项

一种具有形成在半导体层(2)上之固定电极(6)和可动电极(5)的电容性感测器，其中，侦测单元(8)被建构成该固定电极(6)的一部分和该可动电极(5)的一部分彼此相对且保持一间隙(10a)于其间，并且该电容性感测器藉由侦测依据该间隙(10a)之尺寸而改变的电容以侦测预定的物理量，该电容性感测器包括：一误差补偿单元(9)，在该固定电极(6)的另一部分(6b)和该可动电极(5)的另一部分(5d)于该侦测单元(8)之偏移的方向上彼此相对并保持另一间隙(10b)的配置中，该误差补偿单元(9)藉由依据由该偏移所引起之该另一间隙(10b)的变化而造成之电容的改变，以减小该侦测单元(8)中由于该等电极彼此偏移而产生之电容的侦测误差，其中，该误差补偿单元系配置为另一侦测单元，且该等侦测单元各自互相独立地输出讯号。