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发明名称 SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100956807(B1) 申请公布日期 2010.05.11
申请号 KR20077026701 申请日期 2006.04.05
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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