液晶显示装置及其制造方法

摘要

过去的删减制造工序数量的制造方法当通道长度变短时，制造余量变小，量产率较低。其解决手段是将引入半色调曝光技术而使扫描线的形成工序和半导体层的岛化工序予以合理化的新颖技术；和将半色调曝光技术引入到属于公知技术的源极、漏极布线的阳极氧化工序中，使电极端子的保护层形成工序予以合理化的新颖技术；和属于公知技术的同时形成像素电极和扫描线的合理化技术，进行组合而构筑TN型液晶显示装置和IPS型液晶显示装置的四道掩膜板工艺方案和三道掩膜板工艺方案。

主权项

1、一种液晶显示装置，是将液晶充填于在一个主表面上至少具有绝缘栅极型晶体管，兼作上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线，和也兼作源极布线的信号线，和被连接到漏极布线上的像素电极的单位像素被配列成二维矩阵的第一透明性绝缘基板，和与上述第一透明性绝缘基板相对的第二透明性绝缘性基板或者彩色滤光板之间而所构成的液晶显示装置，其特征为：至少在第一透明性绝缘基板的一个主表面上形成有由一层以上的金属层所构成，其侧面上具有绝缘层的扫描线；第一金属层被叠层在周围部分的透明导电性的像素电极，和第一金属层被叠层于周围部分的一部分的透明导电性的信号线的电极端子，在栅极电极上形成有一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第一半导体层，在上述第一半导体层上形成有将成为绝缘栅极型晶体管的源极、漏极的一对含有杂质的第二半导体层，在上述第二半导体层上和第一透明性绝缘基板上和上述信号线的电极端子的第一金属层上形成有由包含有耐热金属层的一层以上的第二金属层所构成的源极布线，和在上述第二半导体层上和第一透明性绝缘基板上和上述像素电极的周围部分的第一金属层的一部分上，形成有相同漏极布线，在图像显示部分外的区域中，在扫描线的电极端子形成区域上具有第一开口部分；相同在上述信号线的电极端子上具有第二开口部分；在像素电极上具有与上述周围部分的第一金属层内侧连接的大小的第三开口部分的保护绝缘层，形成在上述第一透明性绝缘基板上，透明导电性的扫描线的电极端子和信号线的电极端子和像素电极，各露出于上述第一、第二和第三开口部分内。