| 发明名称 | 显示装置用Al合金膜、显示装置以及溅射靶材 | ||
| 摘要 | 本发明提供显示装置用Al合金膜、使用该Al合金膜的显示装置及显示装置用的溅射靶材，所述显示装置用Al合金膜在基板上与导电性氧化膜直接连接，Al合金膜含有Ge 0.05～0.5原子％，含有Gd及/或La合计为0.05～0.45原子％。本发明的Al合金膜未设置阻挡金属，即使使导电性氧化膜和Al合金膜直接连接，导电性氧化膜和Al合金膜之间的粘接性也很高、接触电阻率低，优选干法刻蚀性能优异。 | ||
| 申请公布号 | CN101542696A | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200780044289.5 | 申请日期 | 2007.11.27 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 后藤裕史;富久胜文;日野绫;奥野博行;中井淳一;川上信之;越智元隆 |
| 分类号 | H01L21/3205(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3205(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1.一种显示装置用Al合金膜，其为在基板上与导电性氧化膜直接连接的显示装置用Al合金膜，所述Al合金膜含有0.05～0.5原子％Ge，且以合计0.05～0.45原子％的量含有Gd及/或La。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||