工件表面的精密研磨加工

摘要

动态地控制研磨型表面抛光刀具与正在被抛光的工件的表面之间的间距，从而补偿研磨垫与工件的表面接触的面积的变化，由此消除该接触区域的尺寸变化和伴随的产生表面高度波动的材料去除的变化。

主权项

1.一种用于补偿在使用一种加工刀具期间触点尺寸的变化的方法，所述加工刀具包括在用于研磨层的可屈服、球根状承载件后面的加压室，所述承载件抵靠所要加工的工件的表面运动，所述研磨层压抵在所述表面上，使得所述层有保持与所述表面研磨接触的触点，所述方法包括以下步骤：：用计算出以产生预定尺寸的触点的施加的力将所述刀具压抵在所述表面上；在所述刀具工作期间，将所述刀具与所述表面之间的实际力与所述施加的力作比较；以及调节所述刀具与所述表面之间的距离来补偿所述实际力与所述施加的力之间的任何差值，使所述两个力基本上相等。