| 发明名称 | 太阳能电池的制造方法及太阳能电池的制造装置 | ||
| 摘要 | 本发明制造能量转换效率高的太阳能电池。将在作为P型层的多晶硅基板上形成的成为n型层多晶硅层的表层，使用等离子体进行氧化处理，然后利用CVD处理堆积硅氮化膜，由此在多晶硅层的表层形成钝化膜。使用10eV以下的鞘层电位的等离子体，在压力是6.67Pa～6.67×10<sup>2</sup>Pa的范围、温度是200℃～600℃的范围的条件下进行这种等离子体氧化处理。激发等离子体的微波通过缝隙天线被提供给处理容器内，通过微波的表面波生成等离子体。 | ||
| 申请公布号 | CN101542749A | 申请公布日期 | 2009.09.23 |
| 申请号 | CN200780042990.3 | 申请日期 | 2007.11.06 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 村川惠美 |
| 分类号 | H01L31/04(2006.01)I;C23C16/42(2006.01)I;C23C16/511(2006.01)I;H01L21/316(2006.01)I;H01L21/318(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 伟;舒艳君 |
| 主权项 | 1.一种太阳能电池的制造方法，其中，使用等离子体使硅层的表层氧化、氮化或氮氧化，在所述硅层的表层形成钝化膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||