压电驱动MEMS器件

摘要

一种MEMS器件包括：具有第一固定端的第一致动器，其包括第一下电极、第一压电膜、以及第一上电极的层叠结构，并且可通过在第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；具有第二固定端的第二致动器，其与第一致动器平行设置，并且包括第二下电极、第二压电膜、以及第二上电极的层叠结构，并且可通过在第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到第一致动器的第一作用部分和连接到第二致动器的第二作用部分。

主权项

1. 一种压电驱动MEMS器件，包括：基底；第一致动器，其具有在至少一端固定到所述基底的第一固定端，并包括第一下电极、在所述第一下电极上形成的第一压电膜、以及在所述第一压电膜上形成的第一上电极，并且所述第一致动器可通过在所述第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；第二致动器，其具有在至少一端固定到所述基底的第二固定端，并与所述第一致动器平行设置，所述第二致动器包括：第二下电极，其成为与所述第一下电极相同的层；第二压电膜，其被形成在所述第二下电极上以成为和所述第一压电膜相同的层；以及第二上电极，其被形成在所述第二压电膜上以成为和所述第一上电极相同的层，并且所述第二致动器可通过在所述第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到所述第一致动器的第一作用部分和连接到所述第二致动器的第二作用部分，其中所述第二固定端位于经过所述第一固定端并且与所述第一致动器的延伸方向垂直的直线上，以及所述第一致动器的第一固定端和所述第一作用部分被连接至所述第一致动器的位置之间的距离，等于所述第二致动器的第二固定端和所述第二作用部分被连接至所述第二致动器的位置之间的距离。