发明名称 RATE-ENHANCED CMP COMPOSITIONS FOR DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 IL196220(D0) 申请公布日期 2009.09.22
申请号 IL20080196220 申请日期 2008.12.25
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 C09K 主分类号 C09K
代理机构 代理人
主权项
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