荧光X射线分析装置

摘要

本发明的课题提供一种荧光X射线分析装置，其采用单一检测器，形成简单、低价格的结构，同时，可在较宽的波长范围内以充分的灵敏度，测定波长不同的多条2次X射线的相应强度。在包括X射线源(3)、发散细缝(5)、分光元件(7)、单一检测器(9)的荧光X射线分析装置中，分光元件(7)采用多个弯曲分光元件(7A，7B)，该多个弯曲分光元件(7A，7B)沿从试样(1)和检测器(9)观看，2次X射线的光路(6，8)扩展的方向并排地固定，由此，测定波长不同的多条2次X射线(8a，8b)的相应强度。

主权项

1. 一种荧光X射线分析装置，该荧光X射线分析装置包括：对试样照射1次X射线的X射线源；使从上述试样发生的2次X射线发散的发散细缝；对通过该发散细缝发散的2次X射线进行分光、会聚的分光元件；测定通过该分光元件分光的2次X射线的强度的单一检测器；上述分光元件采用多个弯曲分光元件，该多个弯曲分光元件沿从上述试样和检测器观看，2次X射线的光路扩展的方向并排地固定，由此，测定波长不同的多条2次X射线的相应强度；上述分光元件包括多个分光元件，该多个分光元件分别对应于试样的间隔开的部位，对相同波长的2次X射线进行分光。