发明名称 |
坩埚保持部件及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及坩埚保持部件及其制造方法。本发明提供一种用于保持容纳硅熔融物的石英坩埚的坩埚保持部件。所述坩埚保持部件包含中空网状体和基质,所述中空网状体在其上端和下端开口并通过将多根绳股编织成相对于所述中空网状体的中心轴斜向对齐而形成,所述绳股的每一根均包含多根碳纤维,所述基质充填在所述碳纤维之间的空隙中。 |
申请公布号 |
CN101519795A |
申请公布日期 |
2009.09.02 |
申请号 |
CN200910118210.X |
申请日期 |
2009.02.25 |
申请人 |
揖斐电株式会社 |
发明人 |
加藤秀树;鹿野治英;安藤友行;安田正弘 |
分类号 |
C30B15/10(2006.01)I;C04B35/83(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁香兰;庞东成 |
主权项 |
1. 一种用于保持容纳硅熔融物的石英坩埚的坩埚保持部件,所述坩埚保持部件包含:中空网状体,所述中空网状体在其上端和下端开口并通过将多根绳股编织成相对于所述中空网状体的中心轴斜向对齐而形成,所述绳股的每一根均包含多根碳纤维,和基质,所述基质充填在所述碳纤维之间的空隙中。 |
地址 |
日本岐阜县 |