一种区熔法生长单晶硅用带安全防护装置的机械装料装置

摘要

一种区熔法生长单晶硅用带安全防护装置的机械装料装置，它包括：基座(5)，基座上设有立柱(2)，机械手臂(3)通过套筒(3-1)与立柱配合，套筒与液压机构(1)的传送带的一端连接，机械手臂端部设有夹持手爪(4)、机械手臂的下部装有金属篮筐(6)，本装置还包括使立柱旋转的传动机构I、使机械手臂在垂直方向上、下移动的液压升降机构，以及使夹持手爪相对于手臂旋转的传动机构II、使夹持手爪闭、合的连杆机构。本实用新型的优点是：该装置不仅可以方便的拆装大重量多晶棒，而且安全性高，可以用于50公斤以上的多晶棒的拆装。

主权项

一种区熔法生长单晶硅用带安全防护装置的机械装料装置，其特征在于：它包括：基座(5)，基座上设有立柱(2)，机械手臂(3)通过套筒(3 1)与立柱配合，套筒与液压机构(1)的传送带的一端连接，机械手臂端部设有夹持手爪(4)、机械手臂的下部装有金属蓝筐(6)，本装置还包括使立柱旋转的传动机构I，使机械手臂在垂直方向上、下移动的液压升降机构，以及使夹持手爪相对于手臂旋转的传动机构II、使夹持手爪闭、合的连杆机构。