减少多孔介电薄膜清洗期间损伤的处理方法

摘要

公开了一种在清洗微电子部件的过程中，为减少处理低k介电材料膜时的损伤的设备、方法和系统。本发明通过对微电子组件的处理采取首先进行钝化处理随后进行清洗溶液处理，来清先多孔低k介电材料膜，从而在具有高选择性的同时对介电材料的损伤最小。

主权项

一种处理具有低介电常数的材料表面的方法，该方法包括：a.用超临界甲硅烷基化剂处理具有低介电常数的材料表面，以形成钝化的具有低介电常数的材料表面；b.除去该超临界甲硅烷基化剂；c.用一种超临界溶剂溶液处理该钝化的具有低介电常数的材料表面；以及d.除去该超临界溶剂溶液。