全光电式磁浮工件台六维位姿测量系统

摘要

本发明公开了一种机械电子技术领域的全光电式磁浮工件台六维位姿测量系统，包括：磁浮工件台、传感器组和六维坐标导出单元，其中：传感器组固定于磁浮工件台上，传感器组的输入端随磁浮工件台自由移动以采集磁浮工件台位移方向和距离信息，传感器组的输出端与六维坐标导出单元相连传输磁浮工件台位移方向和距离信息，六维坐标导出单元输出磁浮工件台的六维位姿信息；所述的传感器组包括：两个微图像位移传感器和三个激光位移传感器。本发明应用于制造设备与机器人领域，系统整体尺寸小、结构紧凑；测量范围大大拓展；采用全光电式传感器，其抗电磁干扰能力得以增强。

主权项

一种全光电式磁浮工件台六维位姿测量系统，包括：磁浮工件台、传感器组，其特征在于，还包括：六维坐标导出单元，其中：传感器组固定于磁浮工件台上，传感器组的输入端随磁浮工件台移动以采集磁浮工件台的位移方向和距离信息，传感器组的输出端与六维坐标导出单元相连传输磁浮工件台的位移方向和距离信息，六维坐标导出单元输出磁浮工件台的六维位姿信息；所述的六维坐标导出单元包括：数字信号处理芯片和两个单片机，其中：传感器组的每个微图像位移传感器分别与第一单片机相连传输每个微图像位移传感器所在点的位移方向和距离信息，第一单片机与第二单片机相连传输每个微图像位移传感器所在点的位移方向和距离信息，传感器组的每个激光位移传感器分别与第二单片机相连传输每个激光位移传感器所在点的位移方向和距离信息，第二单片机与数字信号处理芯片相连传输每个微图像位移传感器和每个激光位移传感器所在点的位移方向和距离信息，数字信号处理芯片输出磁浮工件台的六维位姿信息。