| 发明名称 | 防信号干扰装置及包含该防信号干扰装置的溅射机台 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种防信号干扰装置及包含该防信号干扰装置的溅射机台，所述防信号干扰装置包括：第一金属壳体，第二金属壳体，所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置电磁共效马达，所述第一金属壳体与第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置线缆。通过将电磁共效马达与线缆分别容置于不同的容置空间，使所述电磁共效马达与所述线缆分隔开，有效防止所述线缆与电磁共效马达接触并发生摩擦，可避免产生摩擦损耗。 | ||
| 申请公布号 | CN201857425U | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
| 申请号 | CN201020506230.2 | 申请日期 | 2010.08.26 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 李广宁 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种防信号干扰装置，其特征在于，所述防信号干扰装置包括：第一金属壳体；第二金属壳体；所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置电磁共效马达；所述第一金属壳体与第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置线缆。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||