加工装置

摘要

一种加工装置，其能可靠识别保持于卡盘工作台上的被加工物的轮廓。具有：加工被加工物的加工单元；朝加工进给方向(X轴方向)加工进给卡盘工作台的加工进给单元；以及检测卡盘工作台在X轴方向的坐标值的X坐标检测单元，其还具有如下单元的轮廓检测机构：线光照射单元，具有配设于卡盘工作台X轴方向的移动路径上且沿着与X轴方向正交的Y轴方向以预定入射角朝被加工物上表面照射线光的线光照射器；摄像单元，具有接受线光在被加工物上表面反射后的反射光而进行摄像的线扫描摄像机；以及根据来自摄像单元的图像信号和来自X坐标检测单元的检测信号，求出被加工物的X轴坐标值处的Y轴方向两端的Y轴坐标值的控制单元。

主权项

一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其保持被加工物；加工单元，其对保持于该卡盘工作台的被加工物实施加工；加工进给单元，其使该卡盘工作台朝加工进给方向即X轴方向加工进给；分度进给单元，其使该卡盘工作台相对于该加工单元朝与X轴方向垂直的分度进给方向即Y轴方向相对性地分度进给；以及X坐标检测单元，其检测该卡盘工作台在X轴方向的坐标值，其特征在于，该加工装置具有轮廓检测机构，该轮廓检测机构具有：线光照射单元，其具有配设于该卡盘工作台的X轴方向移动路径上且沿着Y轴方向以预定的入射角向保持于该卡盘工作台的被加工物的上表面照射线光的线光照射器；摄像单元，其具有接受由该线光照射单元所照射的线光在被加工物的上表面反射得到的反射光而进行摄像的线扫描摄像机；以及控制单元，其根据来自该摄像单元的图像信号和来自该X坐标检测单元的检测信号，求出保持于该卡盘工作台的被加工物的X轴坐标值处的Y轴方向两端的Y轴坐标值。