无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件

摘要

一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件，包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉，钢丝托脚焊接在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中，在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性能良好的优点，用它作为硅片托架主体杆，空心管结构吸热量少。在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性，从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体，能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求，降低了硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。

主权项

一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件，其特征是：它包括金属套(41)、钢丝托脚(42)、陶瓷涂层(43)和限位螺钉(44)，钢丝托脚(42)焊接在金属套(41)上，在金属套(41)上设有螺纹孔(45)，限位螺钉(44)旋接在金属套(41)上的螺纹孔(45)中，在钢丝托脚(42)的外表面上设有陶瓷涂层(43)。