发明名称 一种垂向升降片库的定位装置和控制方法
摘要 本发明提供了一种垂向升降片库的定位装置,包括:颜色传感器和光源,与所述片库相对位置不变;色带,沿垂向放置且固定不动,与所述片库相对位置随所述片库升降而变化;所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带,并且反射光被所述颜色传感器接收。本发明还提供一种垂向升降片库的定位控制方法。本发明中采用色带,提高了定位精度、简化了安装;占用空间小,可以采用喷涂或者用粘贴的方式,提高了可操作性;不仅可以区分一个片库垂向上的位置,还可以将多个片库区分开来。
申请公布号 CN102087987A 申请公布日期 2011.06.08
申请号 CN200910200091.2 申请日期 2009.12.08
申请人 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 发明人 张鹏远;王磊
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 王洁
主权项 一种垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述垂向升降片库的定位装置包括:颜色传感器和光源,与所述片库相对位置不变;色带,沿垂向放置且固定不动,与所述片库相对位置随所述片库升降而变化;所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带,并且反射光被所述颜色传感器接收。
地址 201203 上海市张江张东路1525号