发明名称 |
一种垂向升降片库的定位装置和控制方法 |
摘要 |
本发明提供了一种垂向升降片库的定位装置,包括:颜色传感器和光源,与所述片库相对位置不变;色带,沿垂向放置且固定不动,与所述片库相对位置随所述片库升降而变化;所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带,并且反射光被所述颜色传感器接收。本发明还提供一种垂向升降片库的定位控制方法。本发明中采用色带,提高了定位精度、简化了安装;占用空间小,可以采用喷涂或者用粘贴的方式,提高了可操作性;不仅可以区分一个片库垂向上的位置,还可以将多个片库区分开来。 |
申请公布号 |
CN102087987A |
申请公布日期 |
2011.06.08 |
申请号 |
CN200910200091.2 |
申请日期 |
2009.12.08 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
发明人 |
张鹏远;王磊 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
一种垂向升降片库的定位装置,其特征在于,所述垂向升降片库的定位装置包括:颜色传感器和光源,与所述片库相对位置不变;色带,沿垂向放置且固定不动,与所述片库相对位置随所述片库升降而变化;所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带,并且反射光被所述颜色传感器接收。 |
地址 |
201203 上海市张江张东路1525号 |